1. 电力系统 Power
2.制程冷却水 Process Cooling Water
3.纯废水系统 UPW/WWT
4. 制程真空 Process vacuum
5.高真空 High Vacuum (Pumping-line & Pumping-Exhaust)
6.排气 Exhaust
7. 大宗气体 Bulk Gas
8. 特殊气体 Sepical Gas
9.化学品 Chemical
10.Foundation
