研磨液与化学品混配供应系统

System Introduction

Slurry,DHF,TMAH,DKOH,SC-1,SC-2,SPM等单组分稀释与多组分混配系统,

依靠质量流量 计、滴定仪、浓度计检测混配结果,根据系统需求与液体特性满足稳定供应;


研磨液-大用量分体式X.png

研磨液-小用量单体式X.png


Performance Examples