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Special gas
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特种气体供应系统
针对不同种类的气体如惰性气体、易燃易爆、毒腐性气体的性质采用全封闭或者开放式柜体，柜体的设计基于高安全性根据气体的性质选择合适当的材料，基本功能包括自动切换，自动吹扫、紧急切断，泄漏侦测，供应压力监测，通过PLC控制实现气体的不间断供应及实时数据传输，以满足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各产业界之不同需求，全系列产品均已通过半导体行业的SEMI-S2安全认证。
