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Chemistry
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研磨液与化学品混配供应系统
Slurry，DHF，TMAH，DKOH，SC-1，SC-2，SPM等单组分稀释与多组分混配系统，依靠质量流量 计、滴定仪、浓度计检测混配结果，根据系统需求与液体特性满足稳定供应； -
电子级湿化学品洗桶+充填 I 灌装系统
全自动/半自动可选无机酸碱类与有机类介质充填与灌装规格：ISO Tank，IBC Tank，200L Drum，20L Barrel，Gallon Barrel
